4. Насосы для создания глубокого вакуума

Весьма перспективны ионные насосы, которые в сочета¬нии с насосами предварительного разрежения также могут обес¬печить остаточное давление на уровне 13,6 мПа. Между двумя кольцевыми электродами, кото¬рыми снабжена стеклянная трубка, создается электрическое поле. Катод располагается в конце трубки, присоединяемом к на¬сосу предварительного разрежения, анод — со стороны вакууми-руемого аппарата. После включения насоса предварительного разрежения между электродами трубки вследствие ударной иони¬зации электронами, ускоряемыми электрическим полем в направ¬лении к аноду, возникают положительные ионы, которые движутся к катоду. Отдавая последнему свой заряд, ионы превращаются в нейтральные молекулы, продолжающие двигаться за катодом к насосу предварительного разрежения, которым они удаляются из системы. Благодаря этому в трубке поддерживается более низкое давление, чем в вакуумируемом аппарате.

Страницы: 1 2 3 4 5